中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“中微惠創(chuàng)”）為中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“中微公司”，上交所股票代碼：688012）的全資子公司，于2014年12月在上海臨港注冊(cè)成立。中微惠創(chuàng)著力于泛半導(dǎo)體行業(yè)的環(huán)保設(shè)備、新能源等領(lǐng)域產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。中微惠創(chuàng)面向電子工業(yè)開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的VOC（揮發(fā)性有機(jī)氣體）處理設(shè)備已廣泛用于改善面板顯示行業(yè)生產(chǎn)線的潔凈室工作環(huán)境；中微惠創(chuàng)生產(chǎn)制造的國(guó)產(chǎn)化Scrubber設(shè)備將應(yīng)用于集成電路、面板顯示、LED與太陽(yáng)能行業(yè)等。