中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備可配置多達4個反應(yīng)腔,可同時加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍綠光Mini LED外延晶片，通過石墨盤的調(diào)整，可擴展至同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。每個反應(yīng)腔都可以獨立控制，這一創(chuàng)新設(shè)計具備優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。中微PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備配置了新穎的局部溫度補償加熱系統(tǒng)，專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計，具備優(yōu)異的產(chǎn)出波長均勻性及產(chǎn)出穩(wěn)定性。此外，PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備配置了785mm大直徑石墨托盤，極大地提高了設(shè)備產(chǎn)能，并有效地降低了Mini LED外延片的生產(chǎn)成本。