自2004年中微公司成立以來，尹志堯博士一直擔(dān)任公司的董事長兼首席執(zhí)行官。他將自己超過28年的產(chǎn)品開發(fā)和行政管理經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用于公司管理，促進(jìn)了半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。

成立中微之前，尹志堯博士曾在應(yīng)用材料公司任職13年，曾擔(dān)任公司副總裁、等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲區(qū)采購副總裁、應(yīng)用材料亞洲首席技術(shù)官等。

尹志堯博士于1984年第一次到硅谷，并加入了英特爾技術(shù)發(fā)展中心。1986年，他加入了Lam Research并引領(lǐng)了刻蝕技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)為一些關(guān)鍵產(chǎn)品帶來了解決方案。

尹志堯博士于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)獲得了物理化學(xué)學(xué)士學(xué)位，隨后在北京大學(xué)化學(xué)學(xué)院完成了碩士學(xué)習(xí)。他還獲得了加州大學(xué)洛杉磯分校的物理化學(xué)博士學(xué)位。尹志堯博士曾作為研究組組長就職于中科院。

陳偉文先生現(xiàn)任中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司集團(tuán)副總裁兼首席財(cái)務(wù)官。在2012年加入中微公司前，陳先生歷任美國上市公司海王星辰和阿特斯太陽能副總裁兼首席財(cái)務(wù)官，并曾任職于霍尼韋爾國際、普華永道等跨國企業(yè)。多年來，陳先生在財(cái)務(wù)管理、審計(jì)、風(fēng)險(xiǎn)管理、上市公司治理等方面積累了較扎實(shí)的經(jīng)驗(yàn)。陳先生于1991年畢業(yè)于廈門大學(xué)，后留學(xué)美國獲阿拉巴馬大學(xué)碩士學(xué)位。他是注冊會計(jì)師。

倪圖強(qiáng)博士在中微擔(dān)任資深副總裁。他主要領(lǐng)導(dǎo)用于高端電介質(zhì)刻蝕的Primo D-RIE和Primo AD-RIE設(shè)備的研發(fā)和項(xiàng)目管理，目前著重于刻蝕工藝反應(yīng)腔體技術(shù)、等離子體源、等離子體物理和等離子體化學(xué)方面的研發(fā)。

加入中微之前，他曾在Lam Research公司新產(chǎn)品部門擔(dān)任主要技術(shù)專家，并是Lam2300系列刻蝕產(chǎn)品的發(fā)明者之一。

倪圖強(qiáng)博士本科畢業(yè)于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)，之后在德州大學(xué)達(dá)拉斯校區(qū)獲得了化學(xué)博士學(xué)位。

作為資深行業(yè)人士和中微公司創(chuàng)立者之一，James主要領(lǐng)導(dǎo)工程技術(shù)部門的發(fā)展，負(fù)責(zé)中微產(chǎn)品研發(fā)過程中的軟件開發(fā)、電氣控制和平臺建立與維護(hù)。
在2004年加入中微之前，James曾在應(yīng)用材料公司擔(dān)任軟件工程主管。1995年加入應(yīng)用材料公司之后，James擔(dān)任過一系列工程管理職位，并負(fù)責(zé)公司最成功的PVD產(chǎn)品的軟件開發(fā)和支持。
James于西安交通大學(xué)獲得了電機(jī)工程學(xué)士學(xué)位和碩士學(xué)位。在赴美工作之前，曾在西安交通大學(xué)人工智能和機(jī)器人學(xué)院任教七年。

作為中微副總裁暨大中華事業(yè)群總經(jīng)理，朱新萍先生極大地推動了中微在該地區(qū)的銷售、客戶服務(wù)和應(yīng)用支持等方面的發(fā)展。

朱新萍先生在半導(dǎo)體行業(yè)工作近二十年。加入中微之前，他曾擔(dān)任臺灣應(yīng)用材料公司（Applied Materials）高級經(jīng)理一職。該期間，他曾任多項(xiàng)職務(wù)，涉及技術(shù)開發(fā)、客戶支持和市場營銷等領(lǐng)域。在加入應(yīng)用材料之前，他曾在華邦電子（Winbond）和臺灣世大集成電路（WSMC）工作，主要負(fù)責(zé)程序開發(fā)和產(chǎn)量提高。

朱新萍先生畢業(yè)于臺灣國立成功大學(xué)，并獲得了工程學(xué)學(xué)士學(xué)位。

加入中微公司之前，劉身健博士在日本和美國等離子刻蝕領(lǐng)域工作20多年，在反應(yīng)器核心技術(shù)、先進(jìn)工藝應(yīng)用開發(fā)、產(chǎn)品市場化及滿足客戶需求方面有極其豐富的經(jīng)驗(yàn)。他曾在等離子體刻蝕領(lǐng)先廠商泛林研究公司擔(dān)任重要職位、與全球各大芯片制造的顧客合作開發(fā)應(yīng)用技術(shù)，改進(jìn)設(shè)備性能，在業(yè)界有很好的信譽(yù)。

劉身健博士于1985年獲得北京理工大學(xué)獲學(xué)士學(xué)位，后于日本名古屋大學(xué)獲工學(xué)博士學(xué)位。