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中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備可配置多達4個反應(yīng)腔，可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個反應(yīng)腔都可以獨立控制，這一設(shè)計可以實現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。PRISMO D-BLUE?是首臺被主流LED生產(chǎn)線采用并進行大批量LED和功率器件外延片生產(chǎn)的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備。

PRISMO D-BLUE®

首臺被主流LED生產(chǎn)線采用并進行大批量LED外延片生產(chǎn)的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備

產(chǎn)品特點

可獨立控制的反應(yīng)腔運行模式

自主的實時監(jiān)控系統(tǒng)

精準(zhǔn)的參數(shù)控制

全自動化處理

符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的軟件控制系統(tǒng)

競爭優(yōu)勢

優(yōu)異的工藝重復(fù)性，簡化工藝調(diào)整需求，提高產(chǎn)品良率

19英寸大尺寸托盤極大地提高了設(shè)備單位產(chǎn)能，降低了生產(chǎn)成本

集成頂蓋升降機構(gòu)，簡化設(shè)備維護，提高設(shè)備利用率

符合SEMI S2安全標(biāo)準(zhǔn)，提升設(shè)備的安全性能