本設(shè)備用于處理半導(dǎo)體光伏面板等行業(yè)生產(chǎn)制程中都會產(chǎn)生的大量易燃劇毒有害氣體，廢氣通過真空管進入設(shè)備后在反應(yīng)腔內(nèi)被分解成無害成分，經(jīng)過水淋和顆粒捕捉后能達到安全的排放標(biāo)準(zhǔn)。
本設(shè)備通過等離子發(fā)生器結(jié)合氮氣產(chǎn)生等離子火焰，該火焰能量集中，適合分解易燃易爆劇毒及溫室氣體。設(shè)備設(shè)計有專用的粉塵沖洗式反應(yīng)腔，有效防止腔體腐爛和堵塞。
Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設(shè)備
設(shè)備占地面積小、便于安裝
不需要燃?xì)獾然剂希▋H用氮氣），減碳節(jié)能
SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半導(dǎo)體特氣處理效率高
開關(guān)機速度快，不需要長時間等待加熱和散熱
安全性能好，靈活互備
自研發(fā)穩(wěn)定便于維護的火炬，縮短安裝時間
反應(yīng)腔采用粉塵沖洗設(shè)計
入口管采用新型防堵方案，PM周期長
可根據(jù)客戶需求，提供定制化服務(wù)
