作為中微公司自主研發(fā)的產出效率高且性能優(yōu)秀的12英寸CVD金屬鎢設備，Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔，每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓，在保證較低的生產成本和化學品消耗的同時，實現較高的生產效率。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識產權的優(yōu)化混氣方案,自主設計優(yōu)化的分氣抽氣系統(tǒng)和真空卡盤，具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調節(jié)靈活性，對于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需求。